사플루오린화 규소

사플루오린화 규소 (Silicon tetrafluoride), 화학식 SiF₄를 가지는 무색의 기체이다. 규소와 플루오린의 화합물이며, 독성이 있고 자극적인 냄새가 난다. 화학적으로 안정하지만, 습한 공기 중에서 가수분해되어 규산(H₂SiO₃)과 플루오린화 수소(HF)를 생성한다.

특성:

• 분자량: 104.08 g/mol
• 끓는점: -86 °C
• 녹는점: -90 °C
• 밀도: 2.64 g/L (기체, 0 °C, 1 atm)
• 물에 대한 용해도: 가수분해됨
• 외관: 무색 기체

제조:

사플루오린화 규소는 일반적으로 형석(CaF₂)과 규사(SiO₂)를 황산(H₂SO₄)과 함께 반응시켜 제조한다.

CaF₂ + SiO₂ + H₂SO₄ → SiF₄ + CaSO₄ + H₂O

또한, 반도체 산업에서 규소 웨이퍼를 플루오린화 수소산(HF)으로 에칭하는 과정에서도 부산물로 생성된다.

용도:

• 반도체 제조 공정: 박막 증착, 에칭 공정
• 불소화합물 합성의 전구체
• 특수 유리 제조
• 가스 누출 검출 (자극적인 냄새 이용)

안전성:

사플루오린화 규소는 독성이 있는 기체이며, 흡입 시 호흡기 자극, 폐 손상을 일으킬 수 있다. 피부나 눈에 접촉 시 화상을 유발할 수 있으므로, 취급 시 적절한 보호 장비를 착용해야 한다. 또한, 습한 공기 중에서 가수분해되어 발생하는 플루오린화 수소(HF)는 매우 위험한 부식성 물질이므로 주의해야 한다.