시트 저항(Sheet resistance)은 정사각형의 반대쪽 두 면에 접촉이 이루어진 얇은 재료의 정사각형 조각의 저항을 의미한다. 일반적으로 두께가 균일한 박막의 전기 저항을 측정하는 데 사용되는 물리량이다. 기호는 보통 $ R_s $로 표기하며, 단위는 옴(Ω)이나, 박막의 면저항임을 구분하기 위해 Ω/sq(옴 퍼 스퀘어) 또는 Ω/□로 표기한다.
시트 저항은 일반적인 저항($ R = \rho \frac{L}{A} $)에서 비저항 $ \rho $과 두께 $ t $를 결합하여 $ R = \frac{\rho}{t} \cdot \frac{L}{W} = R_s \cdot \frac{L}{W} $의 형태로 유도된다. 여기서 $ R_s = \rho / t $가 시트 저항이며, $ L $은 길이, $ W $는 폭이다. 정사각형($ L = W $)인 경우 $ R_s = R $이 성립하므로, 정사각형의 크기와 무관하게 시트 저항 값이 동일하다는 특징이 있다. 이로 인해 시트 저항은 필름 접촉의 스케일링에 따라 변하지 않으므로, 크기가 크게 다른 소자들의 전기적 특성을 비교하는 데 사용될 수 있다.
시트 저항은 주로 반도체 도핑(doping), 금속 증착(metal deposition), 저항성 페이스트 인쇄, 유리 코팅 등으로 만들어진 재료의 특성을 평가하는 데 활용된다. 구체적인 예로는 도핑된 실리콘 또는 폴리실리콘 영역, 후막 하이브리드 마이크로 회로의 기판에 스크린 인쇄되는 저항기 등이 있다.
측정 방법으로는 4단자 감지 측정(Four-terminal sensing, 4점 프로브 측정)을 이용한 직접 측정이 가장 일반적이며, 비접촉식 와전류(eddy current) 기반 테스트 장치를 이용한 간접 측정 방식도 사용된다. 박막의 두께를 알고 있다면 시트 저항에 두께를 곱하여 비저항($ \rho = R_s \cdot t $)을 계산할 수 있다.
시트 저항은 반도체 공정에서 PCM(Process Control Monitor)의 주요 파라미터 중 하나로, Active 영역, Poly 실리콘, 금속 배선(Metal) 층 등의 면저항을 평가하는 데 널리 사용된다. 또한 태양전지, 디스플레이, 투명 전극 등 박막 기반 전자 소자의 설계 및 제조에서 중요한 척도로 활용된다.
